備有齊全的各式電動引動器單元,如X-Y工作台與對位平台等
引導部使用交叉LM導軌CSR型,驅動滾珠螺桿配置在CSR型的外側,是中空無中間鞍座的XY工作台。因為中空上位工作台與中空基座之間的高剛性框架的四邊配置了交叉LM導軌CSR型,因此是簡單、高剛性、高度低的構造。