備有齊全的各式電動引動器單元,如X-Y工作台與對位平台等
基座、上位工作台之間的四個角落，安裝了將交叉型LM線軌、交叉滾柱軸承、及精密滾珠螺桿組合起來的模組。因採用了這樣的獨特構造，而實現了超薄型構造的精密對位平台。
